在半導(dǎo)體精密制造體系中，流體控制系統(tǒng)是保障芯片制程穩(wěn)定、產(chǎn)品良率達(dá)標(biāo)的核心配套單元。半導(dǎo)體生產(chǎn)涵蓋光刻、刻蝕、離子注入、超純水輸送、特種工藝氣體供給及化工廢液處理等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)閥門(mén)設(shè)備的潔凈度、密封性、耐腐蝕性、運(yùn)行穩(wěn)定性及控流精度均有著嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)化要求。Argus Fluidtechnik依托成熟的流體控制技術(shù)與精細(xì)化產(chǎn)品設(shè)計(jì)，適配半導(dǎo)體行業(yè)特殊工況場(chǎng)景，成為晶圓制造、半導(dǎo)體封裝測(cè)試等生產(chǎn)線的適配性流體控制解決方案。

半導(dǎo)體制造的核心生產(chǎn)環(huán)境為高潔凈無(wú)塵車(chē)間，生產(chǎn)過(guò)程涉及電子級(jí)超純水、高純惰性氣體、腐蝕性化學(xué)藥液等多種介質(zhì)，普通工業(yè)閥門(mén)易出現(xiàn)介質(zhì)殘留、顆粒析出、密封泄漏、材質(zhì)腐蝕等問(wèn)題，極易造成晶圓污染、制程中斷，影響生產(chǎn)穩(wěn)定性。Argus Fluidtechnik閥門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)工況特性優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與材質(zhì)，核心閥內(nèi)件多采用316不銹鋼等優(yōu)質(zhì)耐腐蝕材質(zhì)，搭配適配潔凈工況的密封結(jié)構(gòu)，有效降低介質(zhì)殘留與顆粒物析出風(fēng)險(xiǎn)，契合半導(dǎo)體無(wú)塵生產(chǎn)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，可長(zhǎng)期適配車(chē)間高精度生產(chǎn)環(huán)境。

在工藝流體控制環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體各制程工序?qū)α黧w壓力、流量的穩(wěn)定性要求較高，微小的流量波動(dòng)或壓力偏差都可能影響芯片加工精度。Argus Fluidtechnik閥門(mén)經(jīng)過(guò)精細(xì)化工藝加工，閥體流道結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，流體輸送順暢，流量調(diào)控均勻，壓力控制平穩(wěn)，能夠滿足半導(dǎo)體連續(xù)化、高精度的制程流體管控需求。同時(shí)產(chǎn)品具備良好的密封性能與穩(wěn)定的承壓能力，可有效規(guī)避工藝氣體、化學(xué)藥液泄漏問(wèn)題，保障生產(chǎn)線運(yùn)行安全。

針對(duì)半導(dǎo)體廢液、廢氣處理及輔助流體輸送工況，行業(yè)介質(zhì)多具備腐蝕性、微量雜質(zhì)殘留等特性，對(duì)閥門(mén)的耐候性與耐用性提出較高要求。Argus Fluidtechnik部分閥門(mén)產(chǎn)品可適配低溫、耐腐蝕工況，支持常規(guī)防腐工藝配置，能夠穩(wěn)定應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的酸堿藥液、廢棄流體輸送場(chǎng)景，降低設(shè)備故障頻次，減少生產(chǎn)線運(yùn)維成本，適配半導(dǎo)體工廠全流程流體管控需求。